今日热议：【技术】设备控制用通讯协定——GEM&Control

(资料图)

设备控制用通讯协定GEMGEM(Generic model for communications and control of mau=nufacturing equipment),之前介绍过SECS II是半导体设备主机的一个 标准通讯协定，但实际在设备上并非全部会使用到。因此，若可找出设备控制上所需要用的功能项，并同时针对这些功能项来开发程式，以及设计机台，则可以省下许多研发费用。于是，Global Information & Control committee在1992年提出了GEM的规范，只要满足GEM所定的规范与功能需求的设备，即可称之为满足SECS I,SECS II与GEM的设备。

用图来表示

符合GEM规范的设备具有以下的功能以及处理信息的能力1.建立连接1. 建立通讯（Establish Communications）：主机与设备互相要求对方建立连接，相关的Stream Function为S1F1/S1F2,S1F13/S1F142.资料收集2.1 事件告知（Even Notification）:在设备Running中，自动回报特定的资料给Host。Host无需以主动询问的方式来获得设备资料，相关Stream Function为S6F5/F6,S6F11/F12与S6F15/F16          2.2 动态事件回报规划（Dynamic Event Report Configuration）:提供在一些制程环境可弹性要求设备提供所需的资料，HOST可任意的增加或者减少设备资料的输出量。相关Stream Function为：S2F39/40,S2F33/F34,S2F35/F36与S2F37/F382.3 参数资料收集（Variable Data Collection）：Host可用来询问设备的信息参数，在初始化和通讯同步化的过程中用处很大，相关Stream Function为S6F19/F202.4 追溯资料收集（Trace Data Collection）：要求设备以固定的周期来取样所需的信息，可用来某些追踪参数变化的趋势，以监控其数值。相关Stream Function为 S2F23/F24,S6F1/F2与S2F23/F24​​​​​​​2.5 极限监控（Limits Monitoring）:此项功能可使Host在必要的时候修改监控的参数值范围（上限与下限），提供HOST一个具有弹性，有效率并且非同步的方法来监控设备的状况。此一功能已被应用在生产操作及测试上，同时也可应用于在程序控制统计（SPC Statistical Process Control）相关Stream Function为S2F45/F46,S2F39/F40,S2F47/F482.6 状态信息收集（Status Data Collection）:此功能为Host主动发送信息要求设备回复指定的状态信息，作用于与设备状态进行同步。相关Stream Function为：S1F3/F4,S1F11/F12​​​​​​​2.7 线上辨认（On-line Identification）：满足SEMI E5的基本要求，设备回应设备当前模式以及软件版本。相关Stream Function为：S1F1/F23.警报管理​​​​​​​3.1 警报管理（Alarm Management）：使得Host可以远程得知设备上所发生的警报情况。相关Stream Function为S5F3/F4,S5F5/F6,S5F1/F2,S6F11/F12.4.远程控制4.1远程控制（Remote Control）：提供一个比设备更高的控制权限             -----启动（Start）             -----选择程式（PP-Select）             -----停止（Stop）             -----暂停（Pause）             -----重新启动暂停中的程序（Resume processing）             -----放弃制造程序（Abort processing） 相关Stream Function为S1F41/F42,S2F49/F50与S6F11/F125.设备常数​​​​​​​5.1设备常数（Equipment Constant）：提供一个Host可以取得及变更设定常数的方法，Host可在不同的情况下修改设备参数以获得更佳的产品质量或产出。相关Stream Function为S2F15/F16,S2F15/F16,S2F13/F14,S2F19/F20,S2F29/F30与S6F11/F12.6.制程程序管理6.1制程程序管理（Process Program Management）:主要目的为在Host与设备间传送制程程序与管理这些制程配方。Host将设备运作的程序配方（Recipes）下载并储存与设备中，供其编辑，验证及执行。工程师所规划的不同配方以及设备状态不同的条件下，每一批产品也都有不同的结果。因此配方的下达所需要考虑的情况也相当多，这也都是半导体厂最重要的一道生产程序。相关Stream Function为S6F11/F12,S7F17/F18,S7F19/F20,S7F25/F26,S7F5/F6,S7F1/F2,S7F23/F24,S7F3/F4,S7F29/F30,S7F27/F28,S6F11/F12,S15F35/F36,S14F1/F2,S15F31/F32.S15F1/F2,S15F21/F22,S15F27/F28,S15F29/F30.7.材料搬移7.1材料搬移（Material Movement）:此功能包括了在设备的暂存区与存放区之间Wafer的互相传送，Wafer的传送可借由AGV机器人，轨道车，传送带以及一些专门用来搬运的设备。相关Stream Function为S6F11/F128.设备终端服务8.1终端服务（Terminal Services）：允许Host在设备的显示装置上显示一些信息，或显示由操作员传送到Host的信息。相关Stream Function为：S10F3/F4,S10F1/F2,S10F3/F4,S6F11/F12,S10F5/F6以及S10F7。9.错误信息9.1错误信息（Error Message）：提供Host由设备侦测到的一些有关特殊信息或者通讯失败的原因。相关Straem Function为S9F1,S9F3,S9F5,S9F7,S9F9,S9F11,S9F13(前一篇有详细介绍)10.时间10.1时间（Clock）:机台提供Host一个动作的参考时间以及多个设备间的时间参考，这个时间可提供Event或者Alarm发生的时间便与解析，追溯。相关Stream Function为S2F17/F18,S2F31/F32

以上就是Gem规范的功能了，里面提到的一些Stream Function我在之前的帖子多少也有解释。 冰冻三尺非一日之寒

最后再次感谢 七剑软件-半导体软件领先制造者 的合作配合